摘要
本发明公开一种多针头机械刺晶式Mini‑LED巨量转移系统与使用方法,系统包括基板流水线、平面运动平台和多针头刺晶装置,所述多针头刺晶装置包括刺晶头组件和三轴运动龙门,所述刺晶头组件包括底板和若干个子刺晶头,所述底板设有出针孔,若干所述子刺晶头环绕分布于所述出针孔的外周;所述子刺晶头包括壳体、电机和钨针装夹,所述壳体设有导轨,所述钨针装夹沿所述导轨导向滑动设置于所述壳体,所述钨针装夹的移动使得所述钨针在第一位置状态和第二位置状态之间切换。另外,本方案还提出一种使用上述系统的使用方法,本发明提出的一种多针头机械刺晶式Mini‑LED巨量转移系统与方法,解决目前转移效率低,针头密度受针杆粗细制约以及封装精度受限的问题。
技术关键词
巨量转移系统
平面运动平台
多针头
运输轨道
负压吸盘
针孔
芯片载盘
LED芯片
基板
限位器
龙门
机械
流水线
导轨
壳体
弹性件
电机
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