摘要
本发明公开了一种刀口形直尺直线度测量系统及方法,包括利用扩束准直镜组将激光束进行扩束,形成平行光,用长平晶的工作面作为参考平面,激光在刀口形直尺工作棱边与长平晶形成的狭缝处发生衍射,衍射图像由光电传感器接收,经计算机处理后形成相对光强分布图,再经过图像处理算法,最终得到刀口形直尺工作棱边的直线度。本发明实现了刀口形直尺工作棱边直线度定量精确检测,极大减少了人眼估读的测试误差;长平晶平面度误差更小,减少了传统研磨面平尺引入的误差。
技术关键词
刀口形直尺
光电传感器
直线度测量方法
激光器
光强
激光束
平面度误差
图像处理算法
单缝衍射
平行线
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测试误差
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