待键合件的拾取头、键合方法及存储介质

本发明提供了一种待键合件的拾取头、一种键合方法及一种计算机可读存储介质。所述待键合件的拾取头包括本体及检测模块。所述本体包括吸嘴和抽气口。所述抽气口经由所述吸嘴向所述待键合件提供负压，以吸附所述待键合件。所述检测模块包括硬板结构及角度传感器。所述硬板结构上分布有多个气孔，并经由一旋转结构安装于所述吸嘴和所述抽气口之间，以根据流经各所述气孔的气流产生的作用力差异而发生偏转。所述角度传感器检测所述硬板结构的偏转角度，以表征所述吸嘴与所述待键合件之间的平行度。本发明可以用于支持在对待键合件进行拾取的过程中，实时地对拾取头进行调平，从而避免多次键合导致的平行度改变的问题，以提升键合精度。