接合力检测装置和方法

一种接合力检测装置和方法，该接合力检测装置包括：发光装置，所述发光装置向相互接合的晶圆或基板的接合面进行光照射；图像感测装置，所述图像感测装置感测所述接合面相对于所述发光装置中产生的所述光的光学图像；以及控制部，所述控制部基于从所述图像感测装置接收的所述光学图像，判断所述接合面的接合状态。