晶圆的缺陷确定方法、装置、设备、介质及产品

本申请公开了一种晶圆的缺陷确定方法、装置、设备、介质及产品，该方法包括：获取晶圆的噪声图像，噪声图像基于晶圆的缺陷图像和参考图像确定；基于噪声图像中的每个像素点的灰度值，对噪声图像进行区域划分得到多个目标区域，并基于每个目标区域生成对应的第一噪声图像；对每个第一噪声图像的噪声强度进行归一化处理，得到每个第一噪声图像对应的第二噪声图像；对多个第二噪声图像的灰度值进行叠加，得到检测图像，并基于检测图像，确定晶圆的缺陷，通过对噪声强度进行归一化处理能够减小噪声对缺陷确定的干扰，提升缺陷检测的效率和准确率。