摘要
本公开是关于一种文件的审核方法、系统及计算机设备,通过获取待审核文件,并将待审核文件输入至预存的识别模型中进行识别,提取待审核文件中的审核特征;基于预设规则,对审核特征进行审核,以确定审核特征是否符合预设规则;待审核文件中的至少部分审核特征满足第一预设条件时,基于至少部分审核特征生成加工文件,使用加工文件对半导体结构进行加工。本公开利用预存的识别模型对待审核文件进行识别,对于输入至识别模型的各种不同类型的文件,能够从中快速提取出各种特征,进而生成标准的加工文件,不仅提升了审核效率和审核精度,还帮助加快加工进度和加工可靠性。
技术关键词
审核方法
样本
半导体结构
图像
融合特征
计算机设备
指标
融合策略
注意力机制
光罩
输出模块
识别模块
多模态
存储器
处理器
非线性
参数
格式
标记
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