一种太阳能电池的金属电极剥离方法及装置

AITNT
正文
推荐专利
一种太阳能电池的金属电极剥离方法及装置
申请号:CN202411599706
申请日期:2024-11-11
公开号:CN119133322B
公开日期:2025-03-18
类型:发明专利
摘要
本发明公开一种太阳能电池的金属电极剥离方法及装置,在光刻工艺中只涂敷一层光刻胶,无需二次曝光,通过调整光刻胶层的厚度、曝光强度和显影时间即可实现预期的倒梯形图形界面,然后蒸镀上厚度小于光刻胶层的金属电极,达到所需金属电极和光刻胶层,以及所需金属电极和所要剥离的金属之间互不粘连的目的;接着采用带辊轮的金属电极剥离装置,可以让晶圆旋转,使光刻胶层和光刻胶剥离液充分反应,带动光刻胶上的金属均匀地完全脱离,无需额外人工操作进行剥离,降低了生产成本,提高了生产效率。
技术关键词
金属电极 剥离方法 剥离装置 辊轮 光刻胶剥离液 太阳能电池芯片 光刻胶层 旋转支架 限位挡板 半成品 外延 后续制程 MOCVD设备 平台 花篮支撑 掩膜板
系统为您推荐了相关专利信息
1
一种基于片上天线-脉冲源同片集成的高频收发芯片
高频收发芯片 片上天线 采集传输结构 光电导开关 共面波导
2
一种小型贴片式二极管阵列封装方法及其封装结构
贴片式二极管 陶瓷底座 键合区 封装方法 封装结构
3
探测器件芯片组件、制造方法及其相关设备
读出电路 探测器 光刻 硫化锌 计算机可读指令
4
一种手势捕捉和触觉反馈功能的智能手套及人机交互设备
触觉反馈功能 智能手套 液态金属电极 手套本体 传感模块
5
一种面向密集波分复用的绝缘体上硅阵列波导光栅芯片
阵列波导光栅芯片 平板波导 密集波分复用 绝缘体上硅 调谐结构
添加客服微信openai178,进AITNT官方交流群
驱动智慧未来:提供一站式AI转型解决方案
沪ICP备2023015588号