摘要
本发明公开一种太阳能电池的金属电极剥离方法及装置,在光刻工艺中只涂敷一层光刻胶,无需二次曝光,通过调整光刻胶层的厚度、曝光强度和显影时间即可实现预期的倒梯形图形界面,然后蒸镀上厚度小于光刻胶层的金属电极,达到所需金属电极和光刻胶层,以及所需金属电极和所要剥离的金属之间互不粘连的目的;接着采用带辊轮的金属电极剥离装置,可以让晶圆旋转,使光刻胶层和光刻胶剥离液充分反应,带动光刻胶上的金属均匀地完全脱离,无需额外人工操作进行剥离,降低了生产成本,提高了生产效率。
技术关键词
金属电极
剥离方法
剥离装置
辊轮
光刻胶剥离液
太阳能电池芯片
光刻胶层
旋转支架
限位挡板
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