摘要
本发明公开了一种集成芯片封装结构及其制造方法,属于半导体技术领域。所述封装结构包括:第一转接板和第二转接板,所述第一转接板和所述第二转接板相对设置,并通过连接焊盘键合;第一芯片和第二芯片,并列设置在所述第一转接板远离所述第二转接板的一侧上;电容器,设置在所述第一转接板和所述第二转接板之间,且所述电容器包括第一极板和第二极板,所述第一极板设置在所述第一转接板上,所述第二极板设置在所述第二转接板上;第一绝缘层,填充在所述连接焊盘、所述第一极板和所述第二极板之间。通过本发明提供的集成芯片封装结构及其制造方法,可以极大的增加电容面积,缩短电容器到电源网络的距离,提高封装结构的性能。
技术关键词
集成芯片封装结构
转接板
焊盘
电容器
焊球
电容面积
基体
网络
电源
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