一种封装方法和一种封装结构

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一种封装方法和一种封装结构
申请号:CN202411604405
申请日期:2024-11-12
公开号:CN119133198B
公开日期:2025-07-22
类型:发明专利
摘要
本申请实施例提供一种封装方法和封装结构,涉及半导体技术领域。该方法包括:提供待加工模块,待加工模块包括晶圆(103);晶圆(103)的第一表面有感应区域和金属电极(104);在晶圆(103)的第二表面开设孔结构,孔结构露出金属电极(104);之后将所述孔结构填平得到更大的可利用面积,改善了高性能高像素的芯片面积紧张的情况,高性能高像素的芯片能够利用更大的面积排布锡球等与外部电路连接,而且本封装方法重点两次重布线保证了原有的电连接关系和原有功能。
技术关键词
封装方法 金属电极 绝缘 重布线 焊盘 封装结构 无孔结构 围堰结构 表面涂布 芯片 有孔结构 晶圆衬底 封盖 高性能 模块 基板 氧化层
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