一种基于NV色心的缺陷检测方法及设备

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一种基于NV色心的缺陷检测方法及设备
申请号:CN202411610241
申请日期:2024-11-12
公开号:CN119534461A
公开日期:2025-02-28
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种基于NV色心的缺陷检测方法及设备,涉及无损检测技术领域。包括对基于金刚石NV色心进行漏磁探测所得到的探测数据进行预处理,滤除异常信号;对预处理后的数据进行滤波去噪处理;根据处理后的数据判定缺陷信号并计算缺陷的深度和宽度。本发明通过建立数据预处理和滤波去噪流程确保了检测数据的可靠性和准确性,提升了信号质量,减少干扰;通过基于磁化后的漏磁场进行NV色心探测,并对探测数据进行分级处理,采用相应的数据处理算法,提高了检测的空间分辨率和灵敏度;通过缺陷深度和宽度参数建立评估体系,提高了检测效率。
技术关键词
金刚石NV色心 缺陷检测方法 电信号 滤波去噪 荧光 缺陷检测设备 位移控制机构 缺陷检测系统 双色片 异常信号 微波模块 小波去噪算法 光电二极管 数据处理算法 滤波片 探头 无损检测技术
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