摘要
本发明涉及微电子封装技术领域,揭露了一种多层堆叠存储芯片的封装方法,包括:构建待封装存储芯片的3D封装结构布局;构建3D封装结构布局的物理场,将物理场和所述场作用关系集成至3D封装结构布局中,得到耦合3D封装结构布局;计算耦合3D封装结构布局的热点、高应力区以及高电场区,对耦合3D封装结构布局进行优化,得到目标封装结构布局;对待封装存储芯片进行多层堆叠,得到多层堆叠存储芯片;对多层堆叠存储芯片进行封装,得到封装多层堆叠存储芯片,利用预设的材料修复算法激活所述自修复材料的封装修复,得到封装修复材料,基于所述封装修复材料执行所述待封装存储芯片的多层堆叠封装。本发明可提高多层堆叠存储芯片的封装稳定性。
技术关键词
封装存储芯片
封装结构
布局
封装材料
封装方法
电场
重布线层
多层堆叠封装
修复算法
高应力
物理
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