用于Fab系统的AI边缘计算平台、方法、终端及系统

本发明提供一种用于Fab系统的AI边缘计算平台、方法、终端及系统，该平台专为Fab系统设计，根据Fab各系统中业务数据处理任务需求定制开发，部署于晶圆制造厂多个机台设备的边缘侧，并与各机台设备通信连接。所述平台能够采集并筛选符合高质量晶圆标准的工艺参数数据，利用特定算法模型进行分析处理，根据分析结果动态调整机台设备工艺参数并补偿Fab系统指数，优化机台设备性能与生产流程以及算法模型。通过结合边缘计算与AI技术，本发明实现了对半导体制造设备工艺参数的低时延处理和实时分析，提升了系统处理效率和响应速度，同时集成了设备数据处理的全流程自动化管理，降低了人工干预需求，减轻了开发人员工作负担。