MEMS气体传感器气敏层的制备方法及点胶装置

本发明公开了一种MEMS气体传感器气敏层的制备方法，包括以下步骤：（1）将气体敏感材料粉碎研磨成均匀的粉粒；（2）将气体敏感材料和分散介质的充分混合与分散，形成气体敏感浆料；（3）通过点胶机的压电阀将气体敏感浆料点胶涂覆在MEMS芯片的加热区域；（4）对气体敏感浆料进行固化处理；（5）对MEMS芯片进行封装；本发明还公开一种点胶装置，包括有压电阀、气源、控制器、工作台、视觉检测模块、驱动模块，压电阀包括有阀体，阀体设置有第一接头、储液空腔，胶管连接于第一接头和气源之间，阀体设置有第一流道，第一流道连接于储液空腔、第一接头之间。本发明能够提高MEMS气体传感器气敏层的成型效果以及提高生产效率。