一种晶圆表面缺陷检测方法、系统、设备及存储介质

本发明涉及一种晶圆表面缺陷检测方法、系统、设备及存储介质，涉及半导体技术领域。方法包括：获取针对待检测晶圆表面的点云数据，所述点云数据包括所述待检测晶圆表面上各个点的三维坐标；根据所述点云数据，计算每个点对应的第一法线方向，每个所述第一法线方向表征所述点云数据中的任一点所在位置对应的法线的方向；对于每个所述第一法线方向，计算所述第一法线方向与预设的对照法线方向之间的夹角，并根据所述夹角判断所述第一法线方向对应的位置所在区域是否存在缺陷，得到表面缺陷检测结果。本发明对环境光的要求低，能够有效提高缺陷检测的准确率。