射频探针测试接触电阻分析方法、装置和计算机设备

本申请涉及一种射频探针测试接触电阻分析方法、装置和计算机设备，该方法包括：获取对直通结构等效电路模型进行分析，不同金属互连线长度下测量得到的散射参数；直通结构等效电路模型根据直通结构进行建模得到；根据散射参数进行参数分析，确定Π形等效电路的导纳矩阵；根据Π形等效电路的导纳矩阵进行转换分析，确定不同金属互连线长度下T形等效电路对应的参考数据；基于不同金属互连线长度下T形等效电路对应的参考数据进行曲线拟合，并根据拟合的曲线确定接触电阻以用作射频滤波器设计建模，实现精准获取探针接触电阻。