基于混合集成的绿光半导体激光器

本发明涉及一种基于混合集成的绿光半导体激光器，属于光电子集成技术领域。该激光器包括通过BCB键合层键合的氮化硅芯片和氮化镓芯片，其中氮化镓芯片用于产生激光并耦合进入氮化硅芯片中。氮化硅芯片中设置有接收单元、选模单元和反射输出单元。接收单元用于接收氮化镓芯片耦合进入的激光；选模单元用于实现激光的纵模选模压窄；反射输出单元用于实现激光的反射增强，并输出经过选模和线宽压窄的激光。本发明可以实现高质量的基于混合集成的绿光半导体激光器，可以避免氮化镓波导制备难度大，激光器线宽窄、与硅基光子芯片集成难等难题，为生物监测和可见光通信等应用提供一种绿光半导体激光器实现方案。