一种晶圆加工设备及其控制方法

本发明提供了一种晶圆加工设备及其控制方法，晶圆加工设备用于加工晶圆，晶圆加工设备包括：第一机器人和第二机器人，第一机器人与第二机器人相对设置，并且，第一机器人与第二机器人之间存有容纳空间；热盘或冷盘模块，并且热盘或冷盘模块设于容纳空间内；对中模块，对中模块设于容纳空间内；片盒，片盒用于存放晶圆，片盒靠近第一机器人设置；匀胶显影模块，匀胶显影模块靠近第二机器人设置，各个模块集中设置，两个机器人分摊工艺步骤，提高设备产能，不仅减少第一机器人和第二机器人的移动路径的长度，提高第一机器人和第二机器人的抓取效率，还减少了晶圆加工设备的占地面积，便于规划生产车间的设备布局，使设备布局更加合理。