封装结构及其形成方法

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封装结构及其形成方法
申请号:CN202411649286
申请日期:2024-11-18
公开号:CN119542274A
公开日期:2025-02-28
类型:发明专利
摘要
一种封装结构及其形成方法,其中封装结构包括:微流道层,微流道层内具有液体流道;至少1个芯片结构,芯片结构位于微流道层上且与微流道层电连接;封装层,封装层位于微流道上且覆盖芯片结构,封装层内具有进液槽和出液槽,进液槽和出液槽分别与液体流道连通;第一盖板,第一盖板位于封装层上,第一盖板具有进液管和出液管,进液管与进液槽连通,出液管与出液槽连通;第一底填胶,第一底填胶位于第一盖板和封装层之间。增设的第一盖板提供可便捷对接的进液管和出液管,而且通过第一底填胶能够保证第一盖板和封装层之间的密封连接,且第一底填胶提供的密封连接能够满足长期使用可靠性要求。
技术关键词
封装结构 芯片结构 驱动基板 出液接头 液体流道 进液管 金属材料 螺栓
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