摘要
一种封装结构及其形成方法,其中封装结构包括:微流道层,微流道层内具有液体流道;至少1个芯片结构,芯片结构位于微流道层上且与微流道层电连接;封装层,封装层位于微流道上且覆盖芯片结构,封装层内具有进液槽和出液槽,进液槽和出液槽分别与液体流道连通;第一盖板,第一盖板位于封装层上,第一盖板具有进液管和出液管,进液管与进液槽连通,出液管与出液槽连通;第一底填胶,第一底填胶位于第一盖板和封装层之间。增设的第一盖板提供可便捷对接的进液管和出液管,而且通过第一底填胶能够保证第一盖板和封装层之间的密封连接,且第一底填胶提供的密封连接能够满足长期使用可靠性要求。
技术关键词
封装结构
芯片结构
驱动基板
出液接头
液体流道
进液管
金属材料
螺栓
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