集成光学衰减功能的激光器组件

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集成光学衰减功能的激光器组件
申请号:CN202411653209
申请日期:2024-11-19
公开号:CN119560884A
公开日期:2025-03-04
类型:发明专利
摘要
本发明集成光学衰减功能的激光器组件,包括中心具有圆形感应区的Micro‑Electro‑Mechanical Systems芯片,即MEMS芯片,MEMS芯片的圆形感应区的表面镀有光反射膜,激光器发出的光束与MEMS芯片中间的圆形感应区呈45°夹角,激光器发出的光通过光反射膜形成90°反射入光纤进行传输;MEMS芯片的表面电极施加所需的电压,MEMS芯片的圆形感应区随着施加电压的大小发生角度的位移,光反射膜同步的调整,激光器发出的光束与MEMS芯片的圆形感应区角呈大于或小于45°转换,使反射光角度不等于90°,进而激光器发出的光进入光纤的比例降低,实现光衰减。
技术关键词
MEMS芯片 激光器组件 集成光学 光反射膜 垫块 金属壳体 电极 激光器芯片 光束 光纤 反射光 电压 氮化铝 控制电路 氧化铝 波长 绝缘 斜面
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