摘要
本发明集成光学衰减功能的激光器组件,包括中心具有圆形感应区的Micro‑Electro‑Mechanical Systems芯片,即MEMS芯片,MEMS芯片的圆形感应区的表面镀有光反射膜,激光器发出的光束与MEMS芯片中间的圆形感应区呈45°夹角,激光器发出的光通过光反射膜形成90°反射入光纤进行传输;MEMS芯片的表面电极施加所需的电压,MEMS芯片的圆形感应区随着施加电压的大小发生角度的位移,光反射膜同步的调整,激光器发出的光束与MEMS芯片的圆形感应区角呈大于或小于45°转换,使反射光角度不等于90°,进而激光器发出的光进入光纤的比例降低,实现光衰减。
技术关键词
MEMS芯片
激光器组件
集成光学
光反射膜
垫块
金属壳体
电极
激光器芯片
光束
光纤
反射光
电压
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