一种基于石墨烯声电效应的声表面波陀螺仪芯片结构

本发明提出了一种基于石墨烯声电效应的声表面波陀螺仪芯片结构，涉及半导体传感器芯片技术领域，包括压电基底和设置于压电基底表面的声表面波谐振器和声表面波检测器，声表面波谐振器包括两个相对设置的驱动叉指换能器，在两个驱动叉指换能器之间设置有波能量调制区，在每个驱动叉指换能器的外侧均设置有第一声表面波反射栅，声表面波谐振器用于通过驱动叉指换能器在压电基底产生一次声表面波，并在第一声表面波反射栅产生与一次声表面波反射栅对应的驻波；声表面波检测器包括两个对称设置在波能量调制区两侧的石墨烯压阻条，在每个石墨烯压阻条的外侧均设置有第二声表面波反射栅。本发明有助于提升声表面波陀螺仪芯片的灵敏度和信噪比。