摘要
本发明属于光学传感器技术领域,具体涉及一种集成时分复用与频率复用方案的多路光学传感器,包括由多组时分复用传感结构单元组成的传感芯片,每组时分复用传感结构单元由多组级联双环结构组成,传感芯片内嵌在微流通道器件中;基于振镜的扫描输入光学系统用于将光源依次输入到多组时分复用传感结构单元的输入端;多路信号发生器与传感芯片电连接,用于对级联双环结构施加不同频率的谐振电压信号,在频域上区分多组级联双环结构输出的光信号;光电探测器用于接收级联双环结构输出的光信号;光电探测器与信号接收处理系统电连接,用于信号的解调与分析。本发明使用时分复用与频率复用相结合的方式,提高了芯片的集成度及多路传感探测的可拓展性。
技术关键词
MEMS扫描振镜
时分复用
传感芯片
双环结构
多路信号发生器
激光准直镜
结构单元
光栅耦合器
光电探测器
Y分支结构
凹面镜
级联
可调谐激光器
光学系统
频率
微流通道
光学传感器技术
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