射频电极仿真方法、装置、计算机设备及存储介质

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射频电极仿真方法、装置、计算机设备及存储介质
申请号:CN202411683422
申请日期:2024-11-22
公开号:CN119622845B
公开日期:2025-11-07
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种射频电极仿真方法、装置、计算机设备及存储介质,所述方法应用于周期电极,所述方法包括:根据需要仿真的射频电极的类型,建立三维电极模型;根据所述三维电极模型,建立仿真模型;根据所述仿真模型和第一公式进行仿真,获取多个设计参数组;根据所述多个设计参数组、所述第一公式和筛选条件,获取所述需要仿真的射频电极的仿真结果;其中,所述三维电极模型包括:边界条件和预设数量的周期的电极,所述预设数量的周期为一个周期或二分之一个周期。本发明能提高仿真速度。
技术关键词
射频电极 三维电极 仿真模型 分区 参数 周期性 薄层 仿真方法 调制器 计算机设备 电场 损耗 仿真装置 处理器 真空 电阻 电压 PN结
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