全对称结构双侧测量的多参量差压传感器及其使用方法

本发明属于传感器技术领域，涉及一种全对称结构双侧测量的多参量差压传感器及其使用方法。本发明包括基座，基座上开设有两个测量腔，两个测量腔内均设有硅压阻芯片，两个测量腔分别用于接收来自不同压力源的压力。基座上开设有两个导油通道，导油通道的一端与其中一个测量腔连通，导油通道的另一端与另一个测量腔内的硅压阻芯片的负压侧接触，即两个硅压阻芯片均能够实现两个测量腔的高低压测量，实现了物理信号上的对称输出测量。基座上开设有两个充油通道和两个引压通道，每个测量腔均与一个充油通道和一个引压通道连通。充油通道用于向两个测量腔内充灌硅油，硅油充灌完毕后，密封两个充油通道。两个引压通道用于将待测压力引入测量腔内。