一种EBL协作机械手

本申请涉及自动化设备技术领域，具体公开了一种EBL协作机械手，包括两个多轴机械臂、多个机械手爪、工作台和花篮转运机械手；花篮转运机械手用于搬运花篮；多个机械手爪包括定位手爪、紧固手爪、拉拔手爪、吸取手爪和托盘手爪；在两个多轴机械臂分别连接不同的机械手爪后，能够进行第一协同操作和第二协同操作，实现对晶圆和硅片的固定。因此，本方案提供的EBL协作机械手能够根据不同的操作需求切换不同的机械手爪，进行对基片放置和位置调整等精细操作，以及进行花篮转运等繁重的体力作业，能够降低工作人员的作业强度，同时降低设备上精密昂贵部件损坏的可能性以及降低科研人员对ELB设备操作上的心理负担。