码盘测量数据的分析方法

本申请提供码盘测量数据的分析方法，涉及信息技术领域，包括：获取码盘光栅区与非光栅区的表面粗糙度测量数据，针对表面粗糙度突变区域，采用数字图像处理对测量数据进行分割，得到光栅区与非光栅区的粗糙度分布图；根据光栅区与非光栅区的粗糙度分布图，构建粗糙度突变区域的三维几何模型，通过有限元分析方法，计算保护膜在粗糙度突变区域的应力分布状态，获得保护膜的应力分布云图；针对不同深度光栅之间的过渡带，采用扫描电镜获取过渡带的微观形貌特征，通过图像处理算法提取过渡带的宽度参数，建立过渡带宽度与光栅深度的关联模型。为码盘保护膜贴合工艺优化提供科学依据，具有重要的工程应用价值。