一种虚拟测量方法、产品、设备及介质

本发明公开了一种虚拟测量方法、产品、设备及介质，涉及测量技术领域。方案具体根据多个抛光工艺变量及其对应的材料去除率，依次通过特征映射、基于可解释点积注意力机制的特征输出和基于回归采样卷积交互机制的数值预测构建训练得到；在构建虚拟测量模型的过程中，将可解释点积注意力机制输出的特征作为回归采样卷积交互机制的输入，从而将特征选择和回归预测结合，仅使用虚拟测量模型这一个模型即可完成特征筛选和数值预测两个步骤，解决了目前特征选择算法与回归数值预测算法潜在的不匹配问题，可以在回归预测虚拟测量目标值的同时，发挥模型可解释的优势，量化衡量输入数据的相对重要程度，极大提高了模型的可信度。