摘要
本公开提供了一种新的半导体衬底制备方法,涉及半导体芯片技术领域,旨在解决衬底制备过程中材料损耗较大的问题。一种新的半导体衬底制备方法包括:提供支撑层和供体层;供体层包括:相对设置的第一表面和第二表面,将支撑层键合至供体层的第一表面;在供体层的第二表面远离第一表面的一侧进行激光辐照,形成改质层,供体层的自改质层至第一表面的部分形成第一子层,供体层的自改质层至第二表面的部分形成第二子层;将第二子层与第一子层自改质层处剥离;对第一子层远离支撑层的表面进行抛光,得到半导体衬底。上述半导体衬底用于制备电子设备。
技术关键词
半导体衬底
供体
碳化硅衬底
半导体芯片技术
抛光
单晶
激光
粗糙度
超声功率
金刚石
电子设备
脉冲
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