一种薄膜体声波谐振器以及透明保护层的制备方法

本申请属于半导体材料及电子通讯装置技术领域，公开了一种薄膜体声波谐振器以及透明保护层的制备方法，包括薄膜体声波谐振器半成品，薄膜体声波谐振器半成品最上层为金属电极，金属电极顶部设有透明保护层，透明保护层为SiO2，透明保护层根据电极分布设有开口，用于限定封装植球的位置，金属电极上做一层透明保护层不影响芯片性能和电极连接，同时能够提高芯片封装连接的规范性、可靠性，更能保护金属电极免受碰撞划伤和自然氧化等侵害。