摘要
一种LED芯片及其制备方法,LED芯片包括衬底和设于衬底一侧表面的外延结构;外延结构包括沿第一方向依次设置的第一型半导体层、多量子阱层和第二型半导体层,第一方向垂直于衬底,且由衬底指向外延结构;多量子阱层包括由第一膜组构成的周期性结构,各第一膜组包括沿第一方向依次设置的量子垒层和量子阱层;量子垒层为GaN层,量子阱层为由第一子层和第二子层构成的周期性结构;第一子层为I n含量为n的I nGaN层,第二子层为I n含量为m的I nGaN层,m>n,以使得量子阱层的能带呈锯齿形。这种锯齿形能带能够调控I n团簇在量子阱层中的空间分布,降低势垒高度,增加空穴注入,从而增加电子和空穴波函数重叠的几率,进而提升LED芯片的发光效率。
技术关键词
LED芯片
周期性结构
半导体层
多量子阱层
衬底
生长外延结构
端点
势垒高度
模组
电子
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