一种调制激光束结合刻蚀制备微流道散热芯片的方法

本发明公开了一种调制激光束结合刻蚀制备微流道散热芯片的方法，包括：控制激光光源组件输出激光束，该激光束经过空间光调制器进行相位调制后输出形成图案的多条激光束，该多条激光束经过振镜场镜扫描系统聚焦后形成光斑对衬底玻璃进行对应图案阵列的改性，其中改性图案阵列与微流道结构相关；对衬底玻璃上的改性图案阵列进行湿法刻蚀，得到微流道散热芯片。这方法通过引入空间光调制器使用调制过的超短脉冲激光对玻璃衬底材料进行高效率诱导，来实现微流道散热芯片的高效率制备。