摘要
本发明涉及一种可调微结构的压力传感器及其制备方法。该可调微结构的压力传感器,包括两组外接电极,两组所述外接电极之间设置有敏感单元层,所述敏感单元层内设置有可调结构件;所述可调结构件包括至少一层微球结构,一层所述微球结构包括多个平铺的微球;该可调微结构的压力传感器,结构简单、可控性强、制作方便、响应灵敏、成本较低,适用于压力响应复杂的应用场景,如可穿戴电子、电子皮肤、机器人表面压力信号捕捉等众多领域。
技术关键词
微球结构
压力传感器
微结构
结构件
二甲基硅氧烷
多壁碳纳米管
电极
电子皮肤
医用酒精
混合材料
溶液
钛酸钡
平铺
去离子水
聚丙烯
混合液
机器人
聚乙烯
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