用于对扫描电镜进行聚焦的方法、电子设备和存储介质

本申请公开了一种用于对扫描电镜进行聚焦的方法、电子设备和存储介质。该方法包括：沿预设方向逐次调节所述扫描电镜的聚焦值，并采集每次调节聚焦值形成的图像，以获得多张图像；采用预设全局梯度差异算法计算各图像的清晰度，以获得多个图像清晰度；以及基于所述逐次调节的聚焦值和所述多个图像清晰度，利用梯度下降法和/或遍历法在预设聚焦值区间内确定最佳聚焦值，以完成对所述扫描电镜的聚焦。利用本申请的方案，可以适应复杂噪声和多样化样品环境下的图像清晰度评估，具有较高的鲁棒性和精度。