一种基于自适应启发和分层搜索的晶圆提取路径优化方法

本发明适用于自动化设备控制及路径规划技术领域，提供了一种基于自适应启发和分层搜索的晶圆提取路径优化方法，包括以下步骤：Step1，初始化；Step2，启发式值计算：根据当前节点计算自适应启发式函数值以引导搜索；Step3，判断是否到达终点；Step4，路径代价计算；Step5，判断节点扩展：根据自适应扩展条件判断是否扩展当前节点，优先扩展最有可能接近终点的节点；Step6，分层搜索路径：逐步从外层向内层进行分层搜索，并在每层进行独立路径规划，减少搜索范围；Step7，路径回溯；Step8，更新搜索区域；Step9，继续或终止搜索；Step10，结果输出。本发明确保路径最短的前提下，减少电机的启停次数，提高自动化设备的运行效率，延长设备寿命，并降低能耗。