一种LED外延片及其制作与分离方法

本发明提供了一种LED外延片及其制作与分离方法，其中，LED外延片在蓝宝石衬底和外延叠层之间设有第一牺牲层和U型GaN层，其中，第一牺牲层设置于蓝宝石衬底的部分表面，U型GaN层通过层叠于蓝宝石衬底表面的方式覆盖第一牺牲层，由于U型GaN层可吸收激光能量，能被激光分解，为形成间隙通道使腐蚀溶液通过间隙通道溶解第一牺牲层提供条件，可高效、低成本的实现蓝宝石衬底的无损剥离，使蓝宝石衬底可重复回收利用，还可避免现有剥离工艺破坏外延叠层而造成漏电率增加，良率较低等问题，进而提高LED芯片可靠性及良率。