一种无图形晶圆缺陷检测的运动控制方法及系统

本发明公开了一种无图形晶圆缺陷检测的运动控制方法及系统，涉及半导体检测运动控制技术领域。本发明包括：构建待测晶圆直线当前时刻t的运动轨迹模型R(t)，θ(t),V(t),W(t)，生成R轴、θ轴目标位置及速度与当前时刻关系的查找表，以及供TDI相机触发用的θ轴编码器增量计数值、触发延时值，然后对查找表进行存储，产生与运动轨迹相位跟随的等距拍照触发信号；接收直线电机R轴和旋转电机θ轴编码器位置信息。本发明可以有效解决等距螺线运动轨迹旋转电机和执行电机同步问题，并且解决了传统等时长触发带来的与运动轨迹相位不同步问题，以及非等距触发带来的被拍摄物体图像失真问题。