摘要
公开了一种封装结构及其制造方法,其中,封装结构包括:第一基板,在第一基板上间隔分布的多个芯片结构,以及围绕多个芯片结构的空隙;第二基板,与多个芯片结构远离第一基板的一侧对应键合连接;第二基板与第一基板相对的一侧具有多个间隔分布的第一凹槽图案,多个第一凹槽图案一一对应设置于多个芯片结构的上方。
技术关键词
芯片结构
封装结构
基板
图案
空隙
凹槽
介质
热点
密度
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分拣系统
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零件
分拣机械臂技术
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柔性集成电路基板
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抽样方法
数据
光电探测装置
光电材料
焊盘阵列
金属互连结构
凸点结构