摘要
一种基于离子束制样成像的陶瓷电容器晶粒尺度测量方法,通过对陶瓷电容器样品采用机械磨抛制样及离子束抛光来获取清晰的晶粒形貌,从而实现对晶粒尺寸的精确测量,对于提升陶瓷电容器的性能和可靠性具有重要意义,可以推广应用到其他需要晶粒尺度测量的领域,具有广阔的工业应用前景。
技术关键词
测量方法
陶瓷电容器材料
离子束抛光
晶粒形貌
成像
陶瓷电容器结构
抛光处理过程
图像识别软件
扫描电子显微镜
晶粒边界
物理
丙烯酸树脂
机械
抛光布
金属电极
尺寸
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