一种基于X射线荧光光谱仪的频谱分析方法、设备及介质

本发明公开了一种基于X射线荧光光谱仪的频谱分析方法、设备及介质，属于电子测量测试技术领域，用以解决现有的频谱分析中通过剥峰法进行背景扣除，需要大量的迭代过程以实现对背景的有效扣除，算法的时间复杂度较大的技术问题。方法包括：通过X射线荧光光谱仪，获取待测样品的实测谱图和目标元素对应的纯元素谱；结合直线法和剥峰法，分别对实测谱图中的背景和纯元素谱中的背景进行扣除；确定目标元素的纯元素谱在目标谱图中的比重，基于所述比重，确定待测样品中目标元素的含量。本发明通过上述方法能够显著减少剥峰法所需的迭代次数，进而加快剥峰法在谱图本底扣除过程中的效率，高效地扣除谱线本底。