用于质子交换波导的三叉戟结构模斑转换器及制备方法

本发明公开用于质子交换波导的三叉戟结构模斑转换器及制备方法，依次包括衬底、绝缘层和铌酸锂薄膜层；铌酸锂薄膜层包括：第一波导部，作为转换器的输入端；第二波导部，与第一波导部的一端连接，且与第一波导部位于同一平面；第三波导部，位于第二波导部上；质子交换波导，设置在第三波导部中，光依次在第一波导部、第二波导部、第三波导部以及质子交换波导中传输，且在光传输的方向上，第二波导部、第三波导部以及质子交换波导的横向尺寸依次增大。以氮氧化硅波导引导光纤中的光波进入芯片，高效率地引导光纤中的光波，将光波限制在氮氧化硅波导中，使其进入铌酸锂波导，避免光波扩散而损耗；采用锥形的波导结构，避免模式突变，减小耦合损耗。