摘要
本发明提供一种发光二极管芯片及其制备方法,其中发光二极管芯片的制备方法包括:提供一生长所需的衬底,在衬底上依次沉积N型半导体层、有源发光层以及P型半导体层;在P型半导体层上制备N型导电通孔;在P型半导体层以及N型导电通孔上制备电流扩展层;在电流扩展层、未被电流扩展层覆盖的P型半导体层以及未被电流扩展层覆盖的N型导电通孔上制备电流阻挡层;在电流阻挡层上制备电流阻挡层通孔;在电流阻挡层以及电流阻挡层通孔上制备第一半导体层;剥离衬底完全暴露出N型半导体层的底部;在N型半导体层的底部制备第二半导体层;在第一半导体层上制备N型焊盘。
技术关键词
电流阻挡层
发光二极管芯片
电流扩展层
半导体层
金属反射层
导电通孔表面
有源发光层
P型焊盘
氧化铟锡表面
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