具有邻接槽式波导结构的光电探测器

本发明涉及具有邻接槽式波导结构的光电探测器，提供包括光电探测器的光子芯片的结构以及形成此类结构的方法。该结构包括光电探测器，该光电探测器包括垫片和在该垫片上的半导体层。该结构还包括波导结构，该波导结构包括第一波导芯、第二波导芯、在该第一波导芯和该第二波导芯之间的槽、以及多个波导芯段。该波导结构邻接该垫片的侧边，该垫片的该侧边与该半导体层相邻。该多个波导芯段中的每一个都包括设置在该槽中的一部分。