一种用于波导耦合的光纤探针、其制造方法及耦合结构

本发明提供一种用于波导耦合的光纤探针、其制造方法及耦合结构，涉及耦合器技术领域，用于与芯片耦合连接，包括：D型光纤，D型光纤的一端的平面设置为抛光面；波导层，波导层设置在抛光面上，且波导层与D型光纤的纤芯相连接，波导层的一端为渐薄结构，波导层用于与芯片的波导耦合，波导层的折射率与芯片的波导的折射率相同；解决现有技术中在芯片的波导上设置耦合结构，导致工序数目增加，成品率下降，芯片成本升高的问题。