晶圆一维翘曲程度测量装置、方法及晶圆测量系统

本发明公开了一种晶圆一维翘曲程度测量装置、方法及晶圆测量系统，该晶圆一维翘曲程度测量装置包括第一运动平台、图像采集装置、测距模块和控制器，控制器根据图像采集装置定位的待测点控制第一运动平台移动，直至待测点与测距模块在晶圆表面的两个测量点连线的中点重合，再读取测距模块上传的两个测量点的距离数据，并根据距离数据计算得到待测点沿两个测量点在竖直平面上投影点的连线方向的一维倾角。本发明能够实现对晶圆上待测点进行精准定位，再对待测点的一维翘曲程度进行精确测量。