晶圆二维翘曲程度测量装置、方法及晶圆测量系统

本发明公开了一种晶圆二维翘曲程度测量装置、方法及晶圆测量系统，该晶圆二维翘曲程度测量装置包括第一运动平台、图像采集装置、测距模块和控制器，控制器根据图像采集装置定位的待测点控制第一运动平台移动，直至待测点与测距模块在晶圆表面的至少三个测量点所形成的多边形的中心点重合，再读取测距模块上传的至少三个测量点的三维坐标数据，并根据三维坐标数据计算得到待测点的二维倾角。本发明能够实现对晶圆上待测点进行精准定位，再对待测点的翘曲程度进行精确测量。