摘要
本发明提供了一种离子阱芯片的厚膜层生成方法,具体的包括:S1:在离子阱芯片的衬底上生长第一键合层;S2:在厚膜层所需材料上生长第二键合层;S3:通过键合工艺,将第一键合层与第二键合层进行键合;S4:通过减薄工艺,将厚膜层所需材料的厚度减薄至预设厚度。本发明避免了整个离子阱芯片均采用生长方式所产生的速度限制,也解决了生长的薄膜越厚,质量越难以保证的问题。
技术关键词
离子阱
生成方法
芯片
导电
机械抛光
衬底
粗糙度
通孔
金属化
电气
薄膜
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