摘要
本发明涉及芯片封装技术领域,具体地说是一种埋入式玻璃基板芯片的封装方法及结构。包括如下步骤:S1,得到玻璃芯板;S2,开槽,并在凹槽内固定芯片;S3,压合一层树脂材料层;S4,形成第一镀铜层;S5,形成内层线路;S6,压合一层树脂材料层,粘合另一玻璃芯板;S7,溅射第二镀铜层;S8,形成外层线路;S9,压合一层树脂材料层;S10,TGV打孔,通孔孔底落在芯片的焊盘上,S11,在通孔内形成种子层,并进行化学镀铜,形成铜面层,铜面层电连通芯片、内层线路、外层线路。同现有技术相比,利用玻璃的刚性和硬度,使得玻璃基板埋入其中,降低芯片结构的整体立体高度来减薄芯片,可以实现一层或者多层芯片埋入玻璃基板中,减薄整体玻璃基板芯片的高度。
技术关键词
树脂材料
玻璃基板
封装方法
芯板
线路
复合添加剂
封装体
氮气回流焊
屏蔽层
芯片封装技术
种子层
开孔工艺
PI材料
粘合胶层
凹槽
通孔
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