衬底传送装置以及使用衬底传送装置的衬底处理系统

本发明提供一种衬底传送装置。在一个实施例中，所述衬底传送装置包括：传送机器人，所述传送机器人支撑所述衬底；以及竖直致动单元，所述竖直致动单元使所述传送机器人在上下方向上移动，其中所述竖直致动单元包括：竖直框架，所述竖直框架具有狭缝，所述狭缝形成为其纵向方向沿所述上下方向设置，并且在所述竖直框架中形成有竖直空间；排放管道，所述排放管道具有与所述竖直空间连接的排放空间并且设置在所述竖直框架的侧部上；以及致动构件，所述致动构件位于所述竖直空间中并且使支撑单元在所述上下方向上移动，其中所述排放管道设置为使得第一侧朝向所述竖直空间开放。