一种基于微纳可形变结构的椭偏仪

本发明提供一种基于微纳可形变结构的椭偏仪，基于微纳可形变结构的超表面不仅可以将椭偏仪缩小至亚像素级别，且当微纳可形变结构在空间中大量集成，可以以成像的形式获得整个被测材料的被测面的参数，突破传统椭偏仪仅能单点测量的局限性；也就是说，本发明可以以成像的形式进行二维测量、突破传统椭偏仪单点测量的缺陷，极大的缩小了椭偏仪的片上尺寸，将其体积缩小至单像素级别；本发明可以与不同的光学透镜组结合，以成像的形式探测整个薄膜的光学性质与均匀性，突破了传统微型椭偏仪单点探测的弊端；本发明基于总变分的全斯托克斯偏振向量重建模型，通过对迭代内数据施加约束，使得运算结果更加稳定且易收敛。