摘要
本发明实施例提供了一种SLP类载板加工工艺控制方法及装置,包括:获取到类载板设计图,确定所述类载板设计图的通孔位置;控制设备在所述镀铜基板的对应位置进行贴通孔干膜;控制设备针对贴通孔干膜的镀铜基板进行第一次蚀刻减薄铜厚操作,得到减薄铜厚后的镀铜基板;控制设备针对所述减薄铜厚后的镀铜基板进行干膜图形转移操作,再进行第二次蚀刻操作,得到包含细密线路与小焊盘尺寸的SLP类载板;减薄铜厚后再腐蚀细密线路与小焊盘尺寸可保证蚀刻精度,从而保证SLP类载板的孔导通可靠性,同时可腐蚀做出细密线路与小焊盘尺寸,保证了线路器件的尺寸精确性;通过调节通孔偏移量的方式,校准机械臂的放置位置,降低偏移的机率,提高贴干膜的精确性。
技术关键词
蚀刻参数
细密线路
工艺控制方法
控制设备
干膜
类载板
通孔
基板
圆心
曲线
子模块
工艺控制装置
正面
尺寸
机械臂
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