一种微集成相干平衡探测器以及探测方法

本申请属于集成光子器件及光通信、光探测技术领域，具体涉及一种微集成相干平衡探测器以及探测方法，包括封装基板、混频器无源芯片、平衡探测器有源芯片和片间耦合微透‑反镜组；封装基板顶部设计为阶梯错层结构，混频器无源芯片位于高层面，平衡探测器有源芯片位于低层面；片间耦合微透‑反镜组包括第一组微透镜、微反镜和第二组微透镜，第一组微透镜用于准直混频器无源芯片输出的光束，微反镜用于将光束偏折90°，第二组微透镜将偏折光束准直并垂直投射至平衡探测器有源芯片的光敏面。本申请解决了光耦合效率低、光路调整复杂及制造难度高的问题，提升光耦合效率，减少模式失配和散射损耗，降低系统制造复杂性和成本，满足多场景应用需求。